游艇会206官方网首页-游艇会206官网线路检测

电话：0512-65821886 地址：苏州市工业园区新平街388号腾飞创新园A1栋

微纳加工

游艇会206官方网首页 > MEMS器件设计 > 微热板

微热板

微热板

微热板芯片一般用于MEMS气体传感器，集成微型加热器和叉指电极，微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度，叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。